高溫濕度傳感器，基本形式都為利用濕敏材料對水分子的吸附能力或對水分子產生物理效應的方法測量濕度。有關濕度測量，早在16世紀就有記載。許多古老的測量方法，如干濕球溫度計、毛發濕度計和露點計等至今仍被廣泛采用。現代工業技術要求高精度、高可靠和連續地測量濕度，因而陸續出現了種類繁多的濕敏元件。
高溫濕度傳感器測量方法：
常見的濕度測量方法有：動態法(雙壓法、雙溫法、分流法)，靜態法(飽和鹽法、硫酸法)，露點法，干濕球法和電子式傳感器法。
①雙壓法、雙溫法是基于熱力學p、v、t平衡原理，平衡時間較長，分流法是基于濕氣和干空氣的混合。由于采用了現代測控手段，這些設備可以做得相當精密，卻因設備復雜，昂貴，運作費時費工，主要作為標準計量之用，其測量精度可達±2%rh以上。
②靜態法中的飽和鹽法，是濕度測量中常見的方法，簡單易行。但飽和鹽法對液、氣兩相的平衡要求很嚴，對環境溫度的穩定要求較高。用起來要求等很長時間去平衡，低濕點要求更長。特別在室內濕度和瓶內濕度差值較大時，每次開啟都需要平衡6~8小時。
③露點法是測量濕空氣達到飽和時的溫度，是熱力學的直接結果，準確度高，測量范圍寬。計量用的精密露點儀準確度可達±0.2℃甚至更高。但用現代光-電原理的冷鏡式露點儀價格昂貴，常和標準濕度發生器配套使用。
④干濕球法，這是18世紀就發明的測濕方法。歷史悠久，使用普遍。干濕球法是一種間接方法，它用干濕球方程換算出濕度值，而此方程是有條件的：即在濕球附近的風速必需達到2.5m/s以上。普通用的干濕球溫度計將此條件簡化了，所以其準確度只有5~7%rh,干濕球也不屬于靜態法，不要簡單地認為只要提高兩支溫度計的測量精度就等于提高了濕度計的測量精度。
⑤電子式濕度傳感器法
電子式濕度傳感器產品及濕度測量屬于90年代興起的行業,近年來，國內外在濕度傳感器研發領域取得了長足進步。濕敏傳感器正從簡單的濕敏元件向集成化、智能化、多參數檢測的方向迅速發展，為開發新一代濕度測控系統創造了有利條件，也將濕度測量技術提高到新的水平。
